EUV光刻胶先驱公司Inpria筹集了3100万美元的JSR Corporation领导的C轮融资

俄勒冈州科瓦利斯-(美国商业资讯)-用于极端紫外光刻(EUV)的高分辨率金属氧化物光致抗蚀剂的先驱Inpria今天宣布从一个代表整个半导体制造生态系统领导人的大型工会获得了3,100万美元的C轮融资。该资金由光刻胶制造商和现有投资者JSR Corporation领导。新的投资者包括SK hynix Inc.和TSMC Partners。融资回合还包括液化空气风险投资公司ALIAD，应用风险投资，英特尔投资和三星风险投资公司的现有投资者的参与。

“我们很高兴扩大与Inpria的合作伙伴关系，并继续在质量和整体市场接受度方面与他们合作。”

JSR Micro总裁兼Inpria董事会新董事Mark Slezak表示：“ Inpria是用于高级EUV光刻工艺的金属氧化物光刻胶的全球领导者。” “我们很高兴扩大与Inpria的合作伙伴关系，并继续在质量和整体市场接受度方面与他们合作。”

与传统的聚合物树脂相比，Inpria的光致抗蚀剂由氧化锡纳米团簇组成，具有更高的分辨率和更小的结构基数，并且经过调整可最佳吸收EUV光子。由于无与伦比的蚀刻选择性，Inpria光刻胶简化了制造流程并扩大了工艺窗口，从而降低了总体拥有成本。Inpria最近启动了其大批量生产工厂，以支持客户加快生产速度。

“我们坚信，投资者的参与表明Inpria对半导体行业的战略重要性。我们感到高兴的是，我们的投资者基础现在包括目前正在采用EUV结构的全球所有半导体制造商。Inpria首席执行官安德鲁·格伦维尔(Andrew Grenville)补充说，这一成就得到了投资者对光刻胶，设备和工业化学产品的大力参与的补充。“我们期待与我们的全球合作伙伴合作，为整个行业提供革命性的EUV光刻胶平台。”

关于印普里亚

Inpria公司是金属氧化物光刻胶设计，开发和制造的全球领导者。Inpria的EUV光刻胶使半导体制造商能够充分利用EUV光刻的全部潜力。有关更多信息，请访问www.inpria.com。

关于JSR公司

JSR Corporation是一家跨国公司，在全球拥有9,000多名员工，并且是面向各种技术驱动市场的全球领先材料供应商之一。JSR的总部位于日本东京，其全球网络包括在欧洲，美国，中国，台湾，韩国，新加坡和泰国的工厂和办事处。JSR是一家以研究为导向的组织，它与几个关键领域的领先创新者保持紧密合作，以实现人类社会目前和未来的福祉：生命科学，储能，合成橡胶，电子材料，相关的显示器和外围计算解决方案。要了解有关JSR Corporation的更多信息，请访问www.jsr.co.jp。

关于SK

hynix 公司 www.skhynix.com

关于ALIAD

www.airliquide.com/connected-innovation/aliad-venture-capital

关于Applied Ventures

www.appliedventures.com或关注@Applied_VC

关于英特尔投资公司

www.intelcapital.com或关注@Intelcapital

关于三星风险投资公司

www.samsungventure.co.kr

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